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非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究
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文档简介
资料大小: 1.45 MB
资料语言: 中文版
文档格式: PDF文档
资料类别:
仪器仪表
更新日期:2024-04-29
内容简介
非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究,资料为PDF文档格式.
本文档关键词:薄膜,光谱,真空,法制,平衡
关键词
薄膜
光谱
真空
法制
平衡
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